2.2.3.2024 Depleted AlN/Si interfaces for minimizing RF loss in GaN-on-Si HEMTs

H. Hahn, AIXTRON SE
C. Mauder, AIXTRON SE
M. Marx, AIXTRON SE
Z. Gao, AIXTRON SE
P. Lauffer, AIXTRON SE
O. Schon, AIXTRON SE
P. T. John, AIXTRON SE
S. Banerjee, imec
P. Cardinael, Imec and Université catholique de Louvain
J. P. Raskin, Université catholique de Louvain
B. Parvais, imec & Vrije Universiteit Brussels
lin, imec
D. Fahle, AIXTRON SE

2.2.3.2024 Depleted AlNSi interfaces for minimizing RF loss